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处于自由状态下的6061官网

/ 作者: 来源: 日期:2020/11/3 20:35:28【

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   例如在日本专利第5114252号公报(文献1中公开了如下方法:基板上形成纯水的液膜,并且由官网张力小于纯水的低官网张力溶剂取代基板上的纯水之后,将该低官网张力溶剂从基板官网去除使基板官网干燥。另外,日本专利第4767767号公报(文献2装置中进行以下处理:接着用纯水进行的基板的清洗处理,向基板的主官网供给干燥前处理液,用干燥前处理液取代残留于该主官网的纯水,之后去除干燥前处理液使基板干燥。干燥前处理液是含有纯水和挥发性高于纯水的有机溶剂的混合液,并在向基板供给混合液的过程中,使混合液中的有机溶剂的比例增加。日本专利第5139844号公报(文献3中公开了如下方法:与向附着有冲洗液的基板官网供给常温的低官网张力液体的处理并行地,向基板的背面供给高温的温水,从而使基板官网上的低官网张力液体的温度上升。该方法中,能够提高基板官网上的冲洗液和低官网张力液体的取代效率,并能够从基板的官网良好地去除冲洗液。

       


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